Das von der ELEMENT 3-5 GmbH zusammen mit dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie aus Aachen und der NMWP Management GmbH aus Zülpich beantragte Förderprojekt „GREEN EPITAXY“ hat am 12.12.2025 seinen symbolischen Startschuss erfahren: In einer Feierstunde überreichte Frau Silke Krebs, Staatssekretärin im Ministerium für Wirtschaft, Industrie, Klimaschutz und Energie des Landes Nordrhein-Westfalen, den Projektpartnern den Förderbescheid.
Als Strukturwandelprojekt im Kontext des Rheinischen Reviers initiiert, wird GREEN EPITAXY im Rahmen des 7. Energieforschungsprogramms aus Mitteln gefördert, die der Bund für das Strukturstärkungsgesetz Kohleregionen bereitgestellt hat. Das Gesamtvolumen des Vorhabens beläuft sich auf Euro 21,5Mio. Förderadministrativ betreut wird das Vorhaben durch das Team des Projektträgers Jülich.
Dr. Volker Sinhoff, Geschäftsführer der ELEMENT 3-5 GmbH, begrüßte anlässlich der Feierstunde zahlreiche Gäste aus der Politik und Wirtschaft im Technikum des Unternehmens. Nach seinem Dank an die vielen Wegbegleiter, die das Projekt von Anfang an unterstützt und damit erst ermöglicht haben, erläuterte er kurz die Ziele und Inhalte des Vorhabens. „Mit unserer Next Level Epitaxie schlagen wir in der Halbleitertechnik ein vollkommen neues Kapitel auf. Neben einer Kostenersparnis von bis zu 90% ermöglicht die Technologie grundlegend neue Bauelemente, beispielweise das Verheiraten von Mikroelektronik und Photonik in einem Chip. Oder für die nächste Displaygeneration die direkte Fertigung von leistungsstarken microLEDs auf großflächigen Substraten, so dass die aufwändige Montage ersatzlos entfällt. Und mit neuen Transistorarchitekturen, die aufgrund ihrer günstigen Kostenstruktur in nahe zu allen Anwendungsbereichen ineffektive siliziumbasierte Lösungen ersetzen können, schaffen wir die Grundlage für eine gigantische Reduktion der CO2-Emissionen.“skizziert Dr. Sinhoff die technologischen und umweltpolitischen Auswirkungen.
Wirtschaftsstaatssekretärin Silke Krebs ordnete in ihrem Beitrag das Projekt politisch ein: „Das Rheinische Revier ist ein idealer Standort, um an hochinnovativen und komplexen Produkten zu forschen und zur Anwendung zu bringen. Green Epitaxy legt mit seinem ressourcen- und klimaschonenden Ansatz die Basis für die Entwicklung neuer Halbleitertechnologien und spannender künftiger Anwendungen – etwa im Bereich Künstliche Intelligenz oder Quantentechnologie. Das eröffnet Mitarbeitenden und Unternehmen im Rheinischen Revier spannende neue Chancen und schafft viele zukunftssichere Arbeitsplätze. “Auch Städteregionsrat Dr. Tim Grüttemeier und Bürgermeister Pierre Froeschhoben in ihren Redebeiträgen das enorme Potenzial des Vorhabens hervor und sind erfreut, dass diese Zukunftstechnologie ihren Ursprung und ihre Fortsetzung in der Aachener Region nimmt.
Nach dem offiziellen Teil nutzten die Gäste die Gelegenheit, um in lockerer Atmosphäre und bei einem kleinen Imbiss und Getränken den weiteren Austausch mit den Projektpartnern und untereinander zu suchen.
Projektsteckbrief
Ziel von GREEN EPITAXY ist die Erforschung der Next Level Epitaxie (NLE) als Basis für eine ressourcenschonende Halbleiterproduktion und Wegbereiter für energieeffiziente Konsumgüter.
Der Verbund besteht aus der ELEMENT 3-5 GmbH (Koordinator), dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT sowie der NMWP Management GmbH.
Aktuell werden zur Herstellung von Verbindungshalbleitern extrem hohe Prozesstemperaturen (>1000 °C) und toxische Gase benötigt. Neben der Umweltbelastung führen der hohe Energie- und Gaseinsatz in Verbindung mit begrenztem Durchsatz zu hohen Fertigungskosten.
Die NLE arbeitet bei 300 °C. Sie benötigt lediglich 10% des Prozessgas- und Energieeinsatzes bei gleichzeitigem Verzicht auf toxische Gase. Zusammen mit einer zehnfach höheren Anlagenkapazität reduzieren sich die Fertigungskosten signifikant, so dass erstmalig ein Übergang auf effizientere Verbindungshalbleiter in Massenmärkten möglich wird – ein enormer Hebel für Energieeffizienz und -einsparung.
Mit dem Einsatz der NLE in der Halbleiterproduktion wird die Energieeffizienz auf Produktions- und Produktebene signifikant gesteigert.
Die ELEMENT 3-5 GmbH ist Erfinder der NLE und erforscht im Vorhaben neue Materialsysteme. Das Fraunhofer IPT entwickelt Automatisierungsansätze, Methoden zur Substratstrukturierung sowie Lösungen für die effiziente Gestaltung nachfolgender Prozesse. Die NMWP Management GmbH konzentriert sich auf Technikfolgenabschätzung und evaluiert Potenziale für Folgeindustrien und deren Ansiedlung.
Auf Basis der zu entwickelnden Prototypen werden in der Folge Serienmaschinen abgeleitet, die zur Halbleiterproduktion genutzt werden. In einem Open-Lab-Ansatz werden Folgeindustrien motiviert, ihre zukünftigen Produkte prototypisch herzustellen.
Das Projektvolumen beträgt Euro 21,5 Mio. bei einer Laufzeit von 3 Jahren. Gefördert wird das Vorhaben durch Mittel des Bundes. Betreut wird das Vorhaben durch den Projektträger Jülich.
Gefördert durch die Bundesrepublik Deutschland
Zuwendungsgeber: Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutzaufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages
